PLEMIA 導入事例
東京エレクトロン株式会社 様

開発・設計環境の中心はCADではなくPLEMIAを使用、生産管理・品質保証までのあらゆるプロセスを管理。

製品紹介

ものづくりを強化し競争に勝ち抜いていくための情報基盤として有効なのが、企画から開発・設計、製造、保守などあらゆるプロセスのデータを統合管理するPDM（プロダクト・データ・マネージメント）。半導体製造装置で世界的な実績を持つ東京エレクトロン様は、当社のPLEMIAを導入。開発・設計品質の向上はもとより、フロントローディングやコンカレントエンジニアリングなどの面で着実に成果を挙げられつつあります。

微細化や高機能化に対応し量産化の品質向上も目指す

東京エレクトロン様は熱処理成膜装置、コータ／デベロッパ、プラズマエッチング装置、サーフェスプレパレーション装置、枚葉CVD装置、PVD装置、ウェーハプローバなどの半導体製造装置の研究・開発、製造、セールス、フィールドサポートをグローバルに展開し、世界のリーディングカンパニーとして成長を続けています。また同時に、半導体装置製造メーカーとしての豊かなノウハウを応用したFPD（フラットパネルディスプレイ）製造装置などの新たな分野にも進出しています。

半導体製造装置に求められている技術的課題は、今までは主として微細化への対応でした。しかし最近ではそれに加えて、量産性能に対する期待が高まっており、量産化技術向上への迅速な対応が求められています。さらに、半導体デバイスのさらなる高速化、低電力消費化などに対応するために、使用される半導体材料も多様化してきています。

こうした技術トレンドにともない、東京エレクトロン様が当面の課題と位置づけたのは、開発・設計、製造、調達などのプロセスに関するあらゆるデータを一元管理し、さまざまな部門で活用することで、品質向上はもとより製造までのリードタイム短縮、コスト削減に結びつける仕組み。その有力な手段として浮上したのがPDMの導入でした。

「当社では数年前よりトップダウンによる3次元CAD化を進め、『とにかく使え』という号令の元に開発・設計部門に普及・定着させてきました。3次元CADの本質的な目的は設計検討や早期作り込みの効率化による開発・設計の品質向上、リードタイム短縮、コスト削減にあります。これらは3次元化により一定の効果が達成されますが、さらにものづくり全体における最適化を図るとなると、より統合的なエンジニアリングデータ管理が重要になってきます」と東京エレクトロンAT（東京エレクトロングループの半導体製造装置などの開発・設計会社）の生産部門生産技術部設計品質向上グループ主事である阿部功氏は語ります。

既存システムとの親和性、レスポンスなどで高評価

そこで複数のPDMツールをリストアップ。従来の開発・設計環境との親和性や、検索や展開など操作レスポンスの速さ、部品表（BOM）機能などをキーポイントに比較検討した結果、当社のPLEMIAを選定いただきました。

「3次元CADとの親和性が導入条件の一つでしたが、PLEMIAはマルチCAD対応のため、この点はまったく問題なし。既存の2次元データの管理についても万全に行えました。操作レスポンスに関しても、例えば膨大な多段階構成の製品でもPLEMIAは高速で正展開・逆展開してくれます。部品表もE-BOM（設計部品表）とM-BOM（製造部品表）との統合が図れるなど数多くのメリットがありました」（阿部氏）

2005年の春に導入を開始し、約半年ほどで立ち上げに漕ぎ付きました。いざ活用を始めてみると、予想以上に使いやすい。設計部門に対しても、図面管理の基本的な方法を説明会でレクチャーするだけで、割とスムーズに普及・定着が進みました。

「基本的なコンセプトと機能がしっかりできていたため、カズタマイズは運用面など最小限にとどめて短期立ち上げを図りました。このため導入コストも抑えることができました」（阿部氏）

フロントローディングやコンカレント体制を推進

目指しているのはCADが中心の開発・設計環境ではなく、「PLEMIAが中心となる」環境の構築である、と阿部氏は強調します。

「PLEMIAの中で開発・設計も進めることができ、エンジニアが情報を共有・活用し合うことができるコラボレーション、フロントローディングやコンカレントエンジニアリングなどを推進する環境を構築するのがテーマです。3次元CADも活用が進み、3次元データも蓄積・整備されてきたので、開発・設計、製造、生産管理、品質保証などあらゆるプロセスをPLEMIAで統合管理し最適化するシステムは十分に実現できると思います。近い将来にはPLEMIAを中心として新機種の開発プロセスを立ち上げる試みにも挑戦したいですね」（阿部氏）。

さらに、部品表機能との連携も視野に、製品の設計段階に関わるE-BOM（製品部品表）と生産工程で活用されるM-BOM（製造部品表）などとも連携を図り、横断的に管理することで開発・設計、製造などプロセス全体の効率化とスピード化を推進されています。

「さらに言えば、サプライヤーも含めたコンカエントエンジニアリング、フロントローディング実現も今後の課題にしたいですね。PLEMIAによりサプライヤーとの間で企画段階から開発・設計、製造に至る情報を共有することで、協調作業を進め、早期の製品作りこみを実現したい。これは製品品質の向上はもとより、高付加価値製品の開発に結びつくと思います」（阿部氏）。

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