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品質信頼性の保証
半導体デバイス製品の品質・信頼性を維持するために
品質と信頼性のためのサポート（1）
半導体デバイスの生産では、製品の検査と試験が極めて重要な部分を占めています。しかし、それだけでは高品質と高信頼性を保証することはできません。製造工程における環境や設備に対する管理も同じ位に重要です。
設備管理
製造設備の管理も、高品質を維持するための重要な項目の一つです。当社では、製造設備を、厳しい管理規格に従って定期的に検査しています。また、各工場の設備技術部門は、試験や検査に用いられる計量計測器類を定期的に校正しています。校正結果は管理台帳に記録されるとともに、各機器に次回校正期限を記入したラベルを貼り、設備管理に万全を期しています。
これらの計測機器の校正は、熟練した専門スタッフによって行われ、校正に使用される標準器は、国家標準に対するトレーサビリティ体系に従って校正されています。
設備管理（定期点検）
計測標準トレーサビリティ体系
測定システム解析（MSA）
検査・試験装置の管理
半導体デバイスが要求事項に適合していることを実証するために、試験・検査で使用される計測器・試験機に対し、その導入時から日常管理、定期校正の実施を通して適正な状態を管理しています。
- 日常点検と定期校正
定期校正の周期は6ヶ月から24ヶ月の間で計測器ごとに定められています。
これら計測器は国家標準にトレースしています。
日常点検も装置ごとに周期を決め管理しています。 - MSA（Measurement Syastem Analysis）
当社では特に重要な計測器に対して、潜在する変動を解析するためにMSA（Measurement System Alalysis)を実施しています。
特にGage Repeatability & Reproducibility（反復性と再現性）とそれを工程能力と整合させ実施しています。
環境管理
製造環境は、LSIの品質と信頼性に大きな影響を及ぼします。当社では、安定した品質を維持するために、製造の各工程に応じて、温湿度、塵埃、純水に厳しい規格を設定し、随時モニタしています。また、製品の保管についても温湿度の規格を設定して管理しています。
環境管理（中央監視センター）
静電気（ESD）管理
一般にLSI製品は、構造上、静電気に対して極めて敏感です。そのため、できるだけESDに強い設計にしていますが、さらに、製造工程全体を通じて静電気を抑えるための様々な対策を講じています。
出荷管理（吸湿管理）
表面実装型パッケージは実装時において、パッケージ樹脂への吸湿による影響を受けやすいため、実装ランクに応じて防湿梱包を施しています。また、実装ランク情報をラベル表示にて提供できるように推進しています。
静電気（ESD）対策（例）
| ウェーハプロセス工程 | 組立工程 | 試験工程 | |
| 作業床 | 表面抵抗1×105～1×1010Ωの静電気対策床材、または、静電気対策マットを接地して使用。 | ||
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| 作業机 | 表面抵抗1×105～1×1010Ωとなる作業面を、接地して使用する。 | ||
| 作業椅子 | アースまでの抵抗値が1×105～1×108Ωの作業椅子を使用する。 | ||
| 台車 （静電気保護を実施していない製品を運搬する場合） |
ウェーハの帯電電圧：±300V以下に管理された台車を使用する。 | 棚板に静電気対策マットを貼り、床にアース線を接触させて使用する。 アースまでの抵抗値1×105～1×1010Ω |
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| 収納棚 | ウェーハ収納BOX に収納して保管する。 棚は接地するか帯電電圧が20kV以下にする。 |
表面抵抗が1×105～1×1010Ωとなるように対策した棚板を接地して使用する。 | |
| 作業着，防塵着 | 静電気対策の実施されている衣類を着用する。 表面抵抗：1×105～1×1011Ω |
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| 靴 | 以下の仕様の静電靴を使用する。 表面抵抗：1×105～1 ×1010Ω |
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| リストストラップ | - | 以下の仕様のものを使用する。 アースまでの抵抗値1×105～1×107Ω |
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| 指サック | - | 以下の仕様のものを使用する。 表面抵抗1×105～1×1010Ω |
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| 手袋 | 帯電しにくい素材のものを使用する。 表面抵抗：1×105～1×1011Ω |
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| 設備 | 電源を使用する設備は接地して使用する。 | ||
