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半導体デバイス製品の品質・信頼性を維持するために
当社の各工場では工程での異常を監視するだけでなく、ウエーハのプロービング試験や完成品の最終試験の結果を監視し、そこで発生する不良品の故障解析を実施しています。そしてその結果は工程へとフィードバックします。また、お客様で発生する不具合を防止するためには、実際にお客様から返却いただいた不良品の解析結果が貴重なものとなります。その結果は直ちに関連部門へ報告し対策の立案を行います。
このような形で得られた解析の結果は、発生原因への改善だけでなく流出対策へも展開します。さらに同様なことが考えられるものへの横展開も実施します。

故障解析による原因の追究

Nano-probeによるSRAM部への直接コンタクト

Gate部断面写真(90nm)
各拠点ごとに、品質保証部門が主体となり定期的に以下の3種類の監査を行っております。
品質マネジメントシステム第三者認証につきましては、当社ではISO9001はもちろん、自動車関係のISO/TS16949につきましても欧州車載顧客を対象に以下のように対応しております。

品質システム登録証
| 工場名・事業所 | 取得規格 | 登録日 | 認証番号 | 認証機関 |
| 富士通セミコンダクター(株) あきる野テクノロジセンター 三重工場 会津若松工場 岩手工場 |
ISO9001 | 2003年12月5日 | JQA-QMA10719 | JQA |
|---|---|---|---|---|
| 富士通セミコンダクター(株) 三重工場 会津若松工場 岩手工場 |
ISO/TS16949※ | 2008年8月29日 2008年8月29日 2003年12月5日 |
JQA-AU0010-5 JQA-AU0010-4 JQA-AU0010-1 |
|
| 富士通インテグレーテッドマイクロテクノロジ(株) 本社・会津工場 宮城工場 九州工場 |
ISO9001 | 2004年11月26日 | JQA-QMA11777 |
※ 富士通インテグレーテッドマイクロテクノロジ(株)および富士通セミコンダクターテクノロジ(株)につきましても以下の通り,ISO/TS16949第三者認証の取得を予定しております。
・ 富士通インテグレーテッドマイクロテクノロジ(株)本社・会津工場/宮城工場:2008年度中
・ 富士通インテグレーテッドマイクロテクノロジ(株)九州工場:2009年度中
・ 富士通セミコンダクターテクノロジ(株):2009年度中