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社会環境報告書

三重工場

工場長のご挨拶

河野通有 工場長

河野通有 工場長

富士通マイクロエレクトロニクスの半導体製造拠点である三重工場は、300mmウェーハの前工程工場として、岩手工場、若松工場と並ぶ半導体の量産を担う中核工場です。

木曽三川の水と鈴鹿山系の緑に恵まれており、豊かな自然の保護と地域との共生をめざし、徹底した省エネルギー、化学物質排出削減、廃棄物ゼロエミッション(100%有効利用)など、富士通グループの環境活動をリードする最先端のグリーンファクトリーとして、さまざまな環境負荷低減に取り組んでいます。2007年度には、これまでの省エネ活動の取り組み及びその実績が評価され、エネルギー管理優良工場として表彰されました。

今後も環境活動は工場内にとどまらず、地域への貢献活動をはじめ地球温暖化防止対策など、地域からグローバル規模へと幅広い取組みを行っていきたいと考えております。

今後、地域の皆様にはホームページを通じて情報提供をしてまいりますのでよろしくお願いします。

環境方針

  • 基本理念
    三重工場は、当社の最先端半導体製品の開発から量産を担う事業所です。事業を継続的に発展させていくために最優先に考えるべきことは、地球環境の保全への配慮であると考え、
    「自然環境の保全に努め、環境にやさしい、よりよい企業活動を行う」
    ことを基本理念として、以下の指針に基づき全社員で環境活動に取り組みます。

  • 行動指針
    1. 工場の活動、製品が与える環境影響を自覚し、その改善を図る。
    2. 工場に適用される環境法令、自主基準及び同意するその他の要求事項を順守する。
    3. 環境マネジメントシステムを継続的に改善するとともに、汚染を予防する。
    4. 下記のテーマを重点項目として、工場内の関係・関連会社を含む全部門全社員をあげて環境マネジメント活動を推進する。
  • 重点テーマ
    1. 電力・燃料の効率的利用によるCO2排出抑制の推進
    2. 化学物質の効率的利用による使用量及び排出量削減
    3. 廃棄物発生の抑制とゼロエミッション維持
    4. 環境に配慮した製品、製造プロセス改善による環境負荷低減
    5. 地域社会に根ざした環境社会貢献活動の推進

活動目標と結果報告

2007年度の活動目標と活動結果は以下のとおりです。
工場増設により増加するエネルギー消費CO2、CO2以外の温室効果ガス排出量、化学物質の排出量、廃棄物発生量の抑制活動に取り組み、すべての項目で目標を達成しました。

活動目標 活動結果 達成状況
エネルギー消費CO2を163,300t以下に抑制 152,020 t 達成
PFC排出量を102,990GWP-t以下に抑制 93,306GWP-t 達成
VOC排出量を102.4t以下に抑制 77.61 t 達成
廃棄物発生量を4,520t以内に抑制 3,985 t 達成
地域清掃活動を4回/年実施 4回/年 達成

環境負荷と事業活動

三重工場の2007年度の環境負荷状況は下記の通りです。

グリーンファクトリーのコンセプトに基づいた300mm第1棟での蒸気利用の効率化、使用済み純水の再利用化によりINPUTでは都市ガス、水の使用量を前年比で削減することができました。OUTPUTについては、300mm第2棟の操業開始により前年度比で増加していくなかで、グリーンプロセス活動等の成果により、化学物質排出量を前年度比で減少させています。ボイラー燃料は環境負荷の低いLNG(都市ガス)にしており、SOxの大気排出はありません。 2008年度以降は、300mm第2棟の生産規模を拡大していく計画としておりますので、これまで以上に、抑制活動を推進していきます。

INPUT
購入電力: 356,242 MWh 前年度比: +15%
重油: 0 kl 前年度比: ± 0%
LNG(都市ガス): 2,917 m3 前年度比: - 16%
水: 5,239,166 m3 前年度比: - 15%
化学物質: 142 ton 前年度比: + 7%
↓
OUTPUT
大気
 CO2排出量: 152,020 ton
 NOx排出量: 1.3 ton
 SOx排出量: 0 ton
前年度比:
 + 13%
 - 24%
 ± 0%
排水: 4,693,703 m3 前年度比: + 13%
廃棄物総発生量: 3,985 ton 前年度比: + 9%
化学物質: 2.48ton 前年度比: - 45%

(補足)化学物質の算出方法について

INPUT: 工場、事業所におけるPRTR法の対象とされる化学物質の取扱量。
OUTPUT: PRTR法の対象とされる化学物質の工場の排水溝や排気口から排出される濃度を測定し、総排出量(ニッケル化合物、マンガン化合物などの場合)または総排気量(キシレン、トルエンなどの場合)を乗じて算出、 あるいは化学物質の収支量(キシレン、トルエンなどの場合)に基づき算出。


環境マネジメントシステム

富士通グループでは、2006年3月に富士通および国内連結子会社と海外連結子会社までを含めたグローバル統合(注1)の認証を取得しました。 三重工場としては2007年10月に株式会社日本環境認証機構(JACO)のサーベイランス2年次審査の結果、総合的に向上していると評価されました。

(注1)グローバル統合: グローバル統合: ISO14001の統合認証を海外連結子会社まで拡大し、富士通(98拠点)と国内連結子会社90社(503拠点)、および製造系を中心とする海外連結子会社11社(22拠点)の合計102社(623拠点)、約11万7,000人(一部、関係会社社員を含む)を活動組織とする環境マネジメントを構築しました。

  • 環境監査:
    三重工場では、環境負荷の削減状況、環境保全状況の総合的把握、ISO規格への適合状況を判定するため、毎年内部監査を行なっています。
  • 法令順守等:
    EMS(環境マネジメントシステム)事務局により、半期毎に順法性の確認を行なっています。また、内部監査の際にも順法性の確認を行なっています。

尚、2006年に確認した土壌等の汚染発見に関し、2008年5月に三重県及び桑名市に報告するとともに、地域の自治会へも状況説明を行いました。
三重県生活環境保全に関する条例の報告義務に関しての認識違いにより、報告が遅れましたことをお詫び申し上げます。

環境会計

2007年度の三重工場の環境会計実績は、費用11億1,400万円に対し、効果22億1,000万円という結果になりました。

2007年度 環境会計実績表(単位:百万円)

項目 範囲 費用 効果
事業エリア内費用・効果 公害防止・地球環境保全・資源循環等 1,047 2,209
上、下流費用・効果 廃製品リサイクル、グリーン購入等 0 0
管理活動費用・効果 ISO14001、環境教育、環境広報活動等 67 1
研究開発・ソリューションビジネス費用・効果 製品への環境配慮技術の研究等 0 0
社会活動費用・効果 環境保全団体への寄付、支援等 0 0
環境損傷対応費用・効果 土壌、地下水汚染の修復等 0 0
合計 1,114 2,210

社員への環境啓発

全国環境月間にあわせ、毎年6月に社員の環境意識の向上を目的に実施しています。 2007年度の代表的な行事は以下のとおりです。

ミニ環境展

ミニ環境展
環境ビデオ上映会

環境ビデオ上映会
環境施設見学ツアー

環境施設見学ツアー

グリーンプロセス

グリーンプロセスは、製造工程の薬品・ガスの設計使用量と実績使用量を比較し、検証することでコスト削減と環境負荷の低減を同時に行なう活動です。
2007年度は、新たにBUMP工程へ活動範囲を拡大し、薬品使用方法の見直しやテスト用ウェーハの使用削減等を行ないました。

主な改善施策:

  • BUMPめっき液の使用量削減
  • 工程見直しによる材料ガス、クリーニングガス使用量削減

省エネルギー対策

300mm第2新棟の操業開始によるエネルギー使用増加に対しては、最新技術の導入により環境負荷の低減を図り、また、従来工場では下記の省エネ施策に取り組みました。
三重工場全体として生産数量増により前年度比13%増加となっております。

主な省エネルギー施策:

  • 高効率ターボ冷凍機の導入
  • 排気ファンのインバータ化
  • ドライポンプ省エネ対策(高効率化)
  • クリーンルーム外気調整ファン運転の最適化(効率化)

廃棄物ゼロエミッション(廃棄物減量化対策)

2007年度は、300mm第2棟の稼動開始により、廃棄物発生量が増加しておりますが、下記の取り組みにより前年度比9%増加までに抑制できました。引き続き、増加している廃棄物の有効活用を推進していきます。

主な廃棄物の削減施策:

  • 廃硫酸の有効活用
  • 廃プラスチックの有効活用
  • 生ゴミ肥料化
  • 廃硫酸銅の有効活用

化学物質の削減

三重工場に新しく導入するすべての化学物質について、導入前にその安全面や防災面および環境への影響などを審査・登録する化学物質登録制度を運用し、薬品やガスの含有成分を適正把握し、使用量削減活動を推進しています。

主な使用量の削減施策:

  • リン酸、過酸化水素、アンモニア水の使用量削減
  • CF4等のクリーニングガス使用量削減

社会貢献活動

昨年に引き続き、桑名市が行っているアダプトプログラム(注3)を含む、「まちをきれいにする運動」として工場や多度大社周辺、市管轄の公園の清掃活動を4回と、従業員家族にも参加いただいた熊野古道の「清掃ハイキング」、「川と海のクリーン大作戦」も継続して実施しました。これらの2007年度活動は、総勢313名が参加いたしました。

また、地域住民参加の運動会、文化祭に700袋(700Kg)の有機肥料を提供しました。

(注3)アダプトプログラム:アダプトプログラム(ADOPT PROGRAM)は、市などが管理する道路、公園などの公共空間を、場所を決めて、市民・事業者のボランティアで、清掃・美化活動をする制度です。

アダプトプログラム「まちをきれいにする運動」 アダプトプログラム「まちをきれいにする運動」

アダプトプログラム
「まちをきれいにする運動」
川と海のクリーン大作戦

川と海のクリーン大作戦
有機肥料配付

有機肥料配付

リスク対策

2007年度は、環境リスク発生の未然予防を目的として、工場からの放流水配管の改善、地下水槽防液提改善などハード面の対策を実施しました。

工場概要

操業開始 : 1984年10月
所 在 地 : 三重県桑名市多度町御衣野1500番地
事業内容 : 半導体の量産
敷地面積 : 307,000m2
従業員数 : 1,750名(関係会社含む)