素朴な疑問
ウェーハについて
・疑問1）四角いLSIを作るのに、何でウェーハは丸いんだろう。
・回答1）シリコンウェーハはシリコン単結晶の塊（インゴット）を製造し、0.8mmの薄さに輪切りにして作られます。シリコン単結晶そのものが円柱状になっているので、輪切りにしたウェーハも丸くなっています。
・疑問2）実験に使用した丸いウェーハは、リサイクルしているのかな
・回答2）表面部分を取り除いて、太陽電池に再利用しています。
・疑問3）ウェーハはよく見るとまん丸じゃなくて一箇所くぼみがあるけど、それはどうしてなの
・回答3）くぼみが、ウェーハの向きを示す為の目印なのです。印のある方を手前にするのが正しい向きです。
装置について
・疑問1）LSIの断面をナノメートルのレベルまで見られる顕微鏡があるって本当なの
・回答1）本当です。SEM（セム）と呼ばれる電子顕微鏡があります。
SEM（走査型電子顕微鏡）は見たい対象物を数十万倍に拡大して観察する装置です。
原理は、対象物の表面に電子ビームをあて、左右に振りながら上から下へ走査（スキャン）していきます。画面には対象物の表面のデコボコが像として映し出されます。下の写真はSEMで撮影したものです。（最小70nm配線の断面写真）
