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富士通VLSI

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製品情報

FIB加工サービス

FIB加工サービス

特性不良や回路変更によるCHIP作り直しが必要な方へ
「回路変更でウェハーを作り直し? でも早く結果が知りたい。」
「思った特性が出ず、特性の修正確認を直ぐに行いたい!」
「ウェハーの作り直しをしている時間がない!」
そんなLSI開発でお困りの方に、富士通VLSIの専門チームがご支援致します。

FIBとは、Focused Ion Beamの略で、細かく絞ったIon Beamを用いて高分解能観察、微小領域エッチング、金属薄膜形成を行えます。

【FIB加工サービス】
概要 FIBを使った金属配線の切断、再配線
arrowサービスの流れarrowFIB装置の機能詳細
営業品目
  • ロジック品種配線修正
  • 測定パッド作製
  • アナログ品種配線修正(抵抗,容量付含む)
  • CHIP断面観察
  • Si微細形状加工
実績と強みarrow

ご依頼先

〒487-0013
愛知県春日井市高蔵寺町2-1844-2
FIB連絡先

担当者
LSI設計センター)CI技術部 森山武郎

依頼時に必要な御持物arrow