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半導体内部で起こる異常現象により発生する微弱発光を検出する設備。ホットエレクトロン、リーク、ラッチアップ等による発光を検出し、故障箇所の特定が可能。
エミッション顕微鏡メーカー：浜松ホトニクス社型格：PHEMOS-200
端子の付近にて異常発光を検出。
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