信頼性評価・故障解析関係
環境試験装置
| 区分 | 装置名 | 目的 |
|---|---|---|
| 環境試験 | 熱衝撃試験機 | 温度変化による劣化性の確認 |
| 恒温恒湿槽 | 温度・湿度加速による劣化性調査 | |
| 低温低湿槽（恒温恒湿槽） | ||
| 恒温槽 | 温度による劣化性の調査 | |
| 真空チャンバー | 低圧環境下での劣化性調査 | |
| 結露サイクル試験機 | 結露環境下での劣化性調査 | |
| ガス腐食試験器 | 腐食ガス環境下での劣化性調査 | |
| 振動試験機 | 振動による劣化性調査 | |
| 微加振試験機 | 微振動による劣化性調査 | |
| 遠赤外温風リフロー槽 | 温度変化による劣化性の確認 | |
| 温度サイクル槽 | ||
| 促進耐候試験機（サンシャインウェザーメーター） | 劣化を促進させ製品、材料の寿命を予測 |
検査・測定・試験装置
| 区分 | 装置名 | 目的 |
|---|---|---|
| 外観検査 | デジタルマイクロスコープ | 外観、ICチップ表面観察（150～3,000倍） |
| ファイバースコープ | 機構部品の内部観察 | |
| マイクロスコープ | 外観観察 | |
| 金属顕微鏡 | ICチップ表面観察（高倍率 50～1,500倍） | |
| 実体顕微鏡 | 外観観察（低倍率 ～120倍） | |
| 寸法測定器 | 外観寸法の測定（含、投影器） | |
| 電子分析天秤 | IC吸湿量等の測定 | |
| 電気的測定 | ROM評価システム | ROMの各種特性の測定 |
| インピーダンスアナライザ | 受動素子の測定 | |
| オシロスコープ | 治具使用時の測定 | |
| カーブトレーサ | V-I特性の測定 | |
| デジタルマルチメータ | 治具使用時の測定 | |
| パラメーターアナライザ | 各特性の測定（小型ICテスタ） | |
| パルスジェネレータ | 治具使用時の測定 | |
| ファンクションジェネレータ | 治具使用時の測定 | |
| ミリオームメーター | 基板、ケーブルの測定 | |
| ロジックアナライザ | 装置現象確認用装置 | |
| 輝度測定器 | 輝度、色度などの測定 | |
| 自動精密測定器 | 基板の測定 | |
| 絶縁抵抗計 | 基板、ケーブルの測定 | |
| 漏れ電流計 | 個別半導体の測定 | |
| 寿命試験 | ESD試験機 | ESD耐量評価 |
| LSI D-B/I槽 | ダイナミック動作B/Iによる劣化調査 | |
| LSI S-B/I槽 | 高発熱LSI用の強制空冷B/I劣化 | |
| イオンマイグレーション評価システム | イオンマイグレーションの連続監視による劣化性調査 | |
| コネクター瞬断評価システム | 接触部品等の瞬断評価 | |
| データアクイジション | 連続監視による劣化性調査 | |
| プレッシャクッカ | 高圧・高湿度による劣化性調査 | |
| 遠心加速試験機 | 遠心加速による劣化性調査 | |
| 機械衝撃試験機 | 機械的衝撃による劣化性調査 | |
| 耐圧試験機 | 絶縁耐圧評価 | |
| 抵抗連続測定器 | 連続監視による劣化性調査 | |
| 微小荷重測定器 | 微小荷重の測定 | |
| 非破壊調査 | X線透視装置 | 内部配線の断線、内部クラック有無の調査 |
| 大型X線透視装置 | ||
| 赤外線温度測定器 | 部品温度測定 | |
| 超音波探傷装置 | 内部クラック有無の調査 | |
| 蛍光X線分析顕微鏡 | 含有元素分析 | |
| 半破壊調査 | インフラスコープ | IC内部発熱個所の特定 |
| エミッション顕微鏡 | IC内部ホットエレクトロン発生個所の特定 | |
| ドラフトチャンバー他 | プラスチックIC解体設備（含薬品、ビーカ等） | |
| プラスチックオープナー | プラスチックICの解体設備 | |
| マニュアルプローバー | IC内部回路測定用ツール | |
| 液晶解析システム | IC内部発熱個所の特定 | |
| 破壊調査 | FIB | IC内部回路の切断、接続、掘削 |
| プラズマリアクタ | ICチップ表面層の削除 | |
| 研磨機 | ICパッケージ断面の観察試料作成 |