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所有分析・試験装置

材料分析関係

分類 装置名 メーカー 型式 装置の性能・用途
形態観察 マイクロウォッチャー 三菱化成 VS-20F 撮影素子 2/3インチCCD,
画素数約41万画素,
25~1000倍の非破壊による表面形態観察
金属顕微鏡(OM) ニコン
オリンパス
エクリプス
ME600
PMG3等
最高倍率 1000~2000倍,
多重干渉計,
形態観察
走査電子顕微鏡(SEM) 日本電子  JSM-5400LV 分解能 3.5nm,
無蒸着で形態観察可能, 破面解析
PDF 電界放射型
  走査電子顕微鏡
  (FE-SEM)

(684KB / A4・2ページ)
日本電子 JSM-6320F 分解能 1.2nm(15kV)・2.5nm(1kV),
サンプルサイズ 26mm径×10mmH まで可,
最高65万倍の高分解能形態観察
PDF 透過型電子顕微鏡(TEM)
(481KB / A4・2ページ)
日本電子 JEM-4000EX 400kV,最高倍率 300万倍 (写真引伸による),
格子像観察可,電子線回折可,
ナノメータ 素子の平面および断面構造観察
PDF 原子間力顕微鏡(AFM/SPM)
(367KB / A4・2ページ)
DI NanoScope
3aD3000
ステージ
高さ範囲 < 5μm,高さ分解能 サブナノメートルレベル,
大型サンプルステージ(300mm),
微小表面形状測定など
FIB加工 集束イオンビーム
  加工観察装置
  (FIB-SIM)
セイコー電子 SMI9200 断面の加工・観察,結晶粒の観察,
SEM/SAM の分析観察断面の作製,
TEM の試料作製,配線加工など
マイクロ分析 PDF 電子線マイクロアナライザ(EPMA)
(251KB / A4・2ページ)
日本電子 JXA-8800RL等 固体中の>1μmφ領域の元素分析(1wt%オーダー),
Be~U分析,元素カラーマップ
走査電子顕微鏡
  -電子線マイクロ
      分析
(SEM-WDX/EDX)
(FE-SEM-EDX)
日立製作所 S-650 分解能 600nm(25kv),
WDX,EDX装置付C~U分析,
20~20万倍の形態観察と定性定量分析
日立製作所 S-4500 分解能1.5nm(15kV)・4.0nm(1kV),
EDX 装置付 C~U 分析,
最高50万倍の高分解能形態観察と定性定量分析
表面分析 PDF オージェ電子
分光装置(AES)

(308KB / A4・2ページ)
アルバックファイ Model 680 最小プローブ10nmφ, Li~U 分析,
高精細元素マップ可,
表層部と深さ方向の元素分析(1at%オーダー),
低速イオン照射可
PDF X線光電子分光装置
(XPS)

(53KB / A4・1ページ)
SSI S-Probe 最小プローブ100×250μm,
モノクロAl & ノンモノMgX線,
表層部元素の定性定量(~0.1at%オーダー),
化学的結合状態分析
PDF 走査型マイクロ
  X線光電子分光
  装置(µ-XPS)

(82KB / A4・1ページ)
アルバックファイ Quantera SXM 最小プローブφ9μm,Li~U分析,
モノクロAl走査型X線,
Ar/C60イオン銃,
表層部と深さ方向の元素/結合状態分析, 状態分析マップ可
元素分析 PDF ICP質量分析
装置(ICP-MS)

(135KB / A4・2ページ)
アジレント 7500a 微量元素定性,定量分析
高感度,耐マトリックス性有り
(ppt~数百ppm)
ICP発光分光
  分析装置
  (ICP-AES)
セイコー電子 SPS1700HVR シーケンシャル型波長範囲160~800nm,
多元素同時高感度定性,定量分析
(ppb~ppmオーダー)
螢光X線分析装置 理学電機 RIX3000 10~35mmφ,
元素分析(ppmオーダー),
C~U 分析
化学分析 イオンクロマト
  分析装置(IC)
日本ダイオネクス DX-500シリーズ,
(CD-20, IP-25, LC-30)
サプレッサ式,電気伝導度検出範囲 0.01~3000μs,
イソクラティックポンプ,
温度範囲 室温~80℃,通常35℃,
アニオン・カチオンの定性定量分析 (数10ppb~ppm)
横河アナリティカル IC7000 サプレッサ式,
導電率検出式 0~5ms/cm,
温度範囲 室温~80℃,通常40℃,
アニオン・カチオンの定性定量分析 (数10ppb~ppm),
シアン分析も可能
キャピラリー電気泳動装置 大塚電子 CAPI-3200 フォトダイオードアレイ検出器512ch,
波長範囲190 ~600nm,
メッキ液, 洗浄液等中のアニオン・カチオンの定性定量分析( ~ppm)
有機分析 PDF 顕微型
フーリエ変換
  赤外分光分析計
  (FT-IR)

(297KB / A4・2ページ)
島津製作所 FT-IR8400S
AIM-8800
分解能 0.5cm-1,波長範囲 7800~400 cm-1,>25μmφ領域,
顕微・ATR ・反射機能付,
有機材料の構造解析
日本分光 FT/IR-350 分解能0.5cm-1,
波長範囲 7000~400cm-1,
顕微・ATR・反射・偏光機能付,
有機材料の構造解析
PDF ガスクロマト
グラフ-質量分析計
  (GC-MS)

(214KB / A4・2ページ)
島津製作所 QP5050A 濃縮導入装置 CP4020,
キュリーポイントパイロライザJHP-3,
溶剤・ガスの構造解析,
有機材料の構造解析
ウェハ加熱発生ガス
  分析計
島津製作
GLサイエンス
QP5000,5050A
SWA256
ウェハ加熱発生ガス・環境大気中不純物ガス分析専用,
構造解析(定性)および定量
ガスクロマトグラフ
  分析装置(GC)
島津製作所 GC-17A 検出器 FID/TCD/FPD,
オートサンプラ,
溶剤・ガスの定性定量分析
材料試験 PDF 熱分析装置
  EXSTAR6000
  システム

(128KB / A4・1ページ)
セイコー電子 DSC6200等 温度-150~1000℃,
速度0.01~100 ℃/min,
感度±100 mW,
融解・ガラス転移・熱履歴・結晶化・硬化・比熱などの測定
TG/DTA6300等 温度 RT ~1500℃,
速度0.01~100℃/min,
TG感度:±0.2 μg,
DTA感度:0.06 μV,
水分・灰分量・分解・酸化・耐熱性・フィラー含有量などの測定
TMA/SS6100等 温度-150~1500℃,
速度0.01~100 ℃/min,
感度±0.02μm,
固体,フィルム製品の膨張率・ガラス転移・軟化・膨潤・クリープ・応力・歪などの測定
デジタル粉塵計 柴田科学 P-5 ステアリン酸換算0.001mg/m3,
大気中の浮遊粉塵濃度測定
微量水分測定装置 三菱化学 CA-100 測定範囲10μg~100mg H2O,
液体試料中の水分量測定
水素イオン濃度計 堀場製作所 F-23 測定範囲 pH 0 ~14,
分解能 0.01pH,
水溶液の水素イオン濃度測定,
酸性・アルカリ性調査
ビッカース硬度計 アカシ MVK HMV,荷重30~2000g,
金属・プラスチック類の硬さ試験
引張り試験機 島津製作所 AG-50KND 引張・圧縮試験(繰り返しも可)
SD-500 測定範囲 0~500kg,
ヘッド速度 0.5~500mm/min,
部品材料および紙などの引っ張り・圧縮強度試験
電子天秤 ザウトリュウス R160D 秤量範囲 0~162g, 感量 0.01mg,
試料の秤量
導電率計 横河電気 SC82 測定範囲 0~200mS/cm,
純水等の水質測定

上記以外の分析・試験につきましても、特約を結んでいる外部機関を利用して全面的に対処いたしますので、ご相談下さい。

信頼性評価関係

区分 装置名 目的
外観検査 デジタルマイクロスコープ 外観、ICチップ表面観察(150~3,000倍)
ファイバースコープ 機構部品の内部観察
マイクロスコープ 外観観察
金属顕微鏡 ICチップ表面観察(高倍率 50~1,500倍)
実体顕微鏡 外観観察(低倍率 ~120倍)
寸法測定器 外観寸法の測定(含、投影器)
電子分析天秤 IC吸湿量等の測定
電気的測定 ROM評価システム ROMの各種特性の測定
インピーダンスアナライザ 受動素子の測定
オシロスコープ 治具使用時の測定
カーブトレーサ V-I特性の測定
デジタルマルチメータ 治具使用時の測定
パラメーターアナライザ 各特性の測定(小型ICテスタ)
パルスジェネレータ 治具使用時の測定
ファンクションジェネレータ 治具使用時の測定
ミリオームメーター 基板、ケーブルの測定
ロジックアナライザ 装置現象確認用装置
輝度測定器 輝度、色度などの測定
自動精密測定器 基板の測定
絶縁抵抗計 基板、ケーブルの測定
漏れ電流計 個別半導体の測定
寿命試験
環境試験
ESD試験機 ESD耐量評価
LSI D-B/I槽 ダイナミック動作B/Iによる劣化調査
LSI S-B/I槽 高発熱LSI用の強制空冷B/I劣化
イオンマイグレーション評価システム イオンマイグレーションの連続監視による劣化性調査
コネクター瞬断評価システム 接触部品等の瞬断評価
データアクイジション 連続監視による劣化性調査
プレッシャクッカ 高圧・高湿度による劣化性調査
遠心加速試験機 遠心加速による劣化性調査
遠赤外温風リフロー槽 温度変化による劣化性の確認
温度サイクル槽
機械衝撃試験機 機械的衝撃による劣化性調査
結露サイクル試験機 結露環境下での劣化性調査
恒温恒湿槽 温度・湿度加速による劣化性調査
恒温槽 温度による劣化性の調査
ガス腐食試験器 腐食ガス環境下での劣化性調査
振動試験機 振動による劣化性調査
真空チャンバー 低圧環境下での劣化性調査
耐圧試験機 絶縁耐圧評価
抵抗連続測定器 連続監視による劣化性調査
熱衝撃試験機 温度変化による劣化性の確認
微小荷重測定器 微小荷重の測定
非破壊調査 X線透視装置 内部配線の断線、内部クラック有無の調査
赤外線温度測定器 部品温度測定
超音波探傷装置 内部クラック有無の調査
蛍光X線分析顕微鏡 含有元素分析
半破壊調査 インフラスコープ IC内部発熱個所の特定
エミッション顕微鏡 IC内部ホットエレクトロン発生個所の特定
ドラフトチャンバー他 プラスチックIC解体設備(含薬品、ビーカ等)
プラスチックオープナー プラスチックICの解体設備
マニュアルプローバー IC内部回路測定用ツール
液晶解析システム IC内部発熱個所の特定
破壊調査 FIB IC内部回路の切断、接続、掘削
プラズマリアクタ ICチップ表面層の削除
研磨機 ICパッケージ断面の観察試料作成

非破壊調査:試料に手を加えずに調査
半破壊調査:試料が動作可能な状態で加工し調査
破壊調査:試料が動作不可能な状態まで加工し調査