FE-SEM
（電界放射型走査電子顕微鏡:Field Emission-Scanning Electron Microscope）
走査電子顕微鏡（SEM）は、細く絞った電子線を真空中で試料上に二次元的に走査し、試料表面から放出される二次電子等の強度を画像として得る装置です。
表面の凹凸や組成の違いを数百～数万倍に拡大観察できます。
中でもFE-SEMは冷陰極電界放射型（Cold Field Emission）の電子源を用いており、従来の熱電子放出型に比べて低加速電圧・高分解能で、数十万倍の倍率での観察も可能になっています。
またSEMにX線分光器を付属させるとマイクロ分析が行えます。
当社セミインレンズFE-SEMの特長
- 試料の大きさ ： 大型試料（26mm径）が観察可能
- 分解能 ： 1.2nm（15kV），2.5nm（1kV）
- 観察可能倍率 ： 最大65万倍
分析事例
高分解能形状観察
ダイヤモンド成長状態
ITOスパッタ膜表面
微細パターン観察
斜め上方からの観察で、分解能を落とすことなく、試料の奥から手前まで焦点があった観察ができます。
(左）セミインレンズタイプによる通常の観察像 、（右）セミインレンズタイプに当社技術を適用した観察像