LSM

(レーザー顕微鏡：Laser Scanning Microscope)

レーザー顕微鏡を用いると、凹凸のある試料でも焦点深度の深い表面形状観察像が得られます。
光学顕微鏡ではある高さにしかピントが合わなくてお困りでしたら、ぜひお試しください。
また、任意の位置・方向のプロファイルを表示して距離や高さを測長したり、3D画像を表示したりすることができます。もちろん、表面粗さの測定にも有効です。

原理：レーザーで試料表面を走査し、ピントが合った位置の反射光を検出します。