分析方法によるご案内
各種分析方法の分類とその内容、および分析装置をご紹介します。
| 分類 | 内容 | 装置 |
|---|---|---|
| 形態 観察 |
試料調製（切断,各種研磨,FIB加工, 金属組織のエッチングなど）, 写真撮影,破面解析,表面粗さなど |
マイクロウオッチャー,金属顕微鏡（OM）, レーザー顕微鏡,走査電子顕微鏡（SEM）, 電界放射型走査電子顕微鏡（FE-SEM）, 透過型電子顕微鏡（TEM）, 原子間力顕微鏡（AFM/SPM） |
| FIB 加工 |
断面加工,配線加工, SIM（走査イオン顕微鏡）像撮影 |
集束イオンビーム加工観察装置（FIB-SIM） |
| 構造 | 構造解析 | X線回折（XRD） |
| マイクロ 分析 |
分析箇所の写真撮影,定性分析, 半定量分析,定量分析, 線分析,面分析（白黒マッピング）, カラーマッピングなど |
電子線マイクロアナライザ（EPMA）, 走査電子顕微鏡-電子線マイクロ分析（SEM-WDX/EDX） |
| 表面 分析 |
分析箇所の写真撮影,定性分析, 半定量分析,状態分析,線分析, カラーマッピング, デプスプロファイルなど |
走査型オージェ電子分光装置（AES,SAM）, X線光電子分光装置（XPS）, 走査型X線光電子分光装置（マイクロXPS） |
| 元素 分析 |
試料調製 （機械加工,酸溶解,アルカリ溶解,フッ化水素酸分解,中和処理など）, 定性分析,半定量分析,定量分析 |
ICP質量分析装置（ICP-MS）, ICP発光分光分析装置（ICP-AES）, 蛍光X線分析装置（XRF） |
| 化学 分析 |
試料調製 （ろ過・洗浄,液性処理,抽出処理など）, 定性分析,定量分析 |
イオンクロマト分析装置（IC）, キャピラリー電気泳動装置 |
| 有機 分析 |
試料調製（過熱、抽出など）, IRスペクトル測定（透過法,全反射法, 高感度反射法,顕微赤外法）, MSスペクトル測定（EI法,熱分解EI法,TCT法）,定量分析, シリコンウェハからの加熱発生ガス分析, クリ-ンルーム内の有機ガス採取と分析など |
顕微型フーリエ変換赤外分光分析計（FT-IR）, ガスクロマトグラフ-質量分析計（GC-MS）, ウェハ加熱発生ガス分析計, ガスクロマトグラフ分析装置（GC) |
| 材料 試験 |
熱重量・示差熱分析, 示差走査熱量分析, ビッカース硬さ測定,引張強さ測定, 抗折強度測定,用紙特性評価など |
熱分析装置EXSTAR6000システム, デジタル粉塵計,水素イオン濃度計, ビッカース硬度計,引張り試験機, 電子天秤,導電率計など |
| 環境 調査 |
エコチェッカ （蛍光X線分析法による目安濃度の算出）, 環境診断,粉塵濃度測定,ガス濃度測定など |