機能概要
Yield Analysisは、WP, WET, SORT, EQUIPMENTデータを使用した解析システムです。
レポート機能および対話型解析機能により、目的に応じた解析が可能です。
レポート機能 ： 一括処理により、低歩留りロットの不良特徴や問題工程を抽出します。
対話型解析機能 ： 特定因子に対して条件を変更しながら詳細な解析ができます。
レポート機能
1. ウェハマップ分布レポート
単一又は複数ロットについてウェハマップ解析結果を自動的にレポート(HTML)化し、各種グラフをYA-Web上で閲覧可能です。
2. 装置間差レポート
全製造工程を対象に、問題のある装置の工程を自動的に抽出し、結果をYA-Web上で閲覧可能です。
3. 歩留り影響度レポート
測定データを対象に、問題のある因子を自動的に抽出する事が可能です。
対話型解析機能
1. ウェハマップ解析
SORTデータを元に、全ウェハまたは任意ウェハを重ね合わせた、ウェハの面内分布解析が行えます。
- 各種ウェハの重ね合わせによる面内分布解析
(全ロット、ロット群、ウェハグループ別) - ショット単位、ゾーン単位(角度方向、r方向)での比較解析
- ウェハ内の特定領域を指定した装置間差解析への連携
2. 装置間差解析
製造工程での装置号間の差を解析することが可能です。
- 装置号機毎の累積確率プロット解析
- 工程の処理日時順でのトレンド解析
- ウェハ面内の領域毎の装置間差解析
3. 相関解析
全種データ間での2次相関解析が行えます。
またクラスタモード機能により、より視覚的な傾向解析が可能です。
- 単一相関解析
- マルチ相関解析
4. 高低歩留り解析
「高歩留りロット」グループと、「低歩留りロット」グループでの要因の解析が行えます。
- ロット処理装置を要因としたスタックグラフ解析
- WIP測定データ、WET測定データを要因としたトレンド解析
5. 歩留り成分解析
SORTデータを元に、不良因子(BIN)の解析が可能です。
また、歩留りだけでなく、Ys,Yr値を解析因子とすることにより歩留り低下原因を予想することも可能です。
- 累積確率プロット解析
- SORTの不良密度解析（移動平均線表示可能）
- 工程の処理日時順でのトレンド解析（移動平均線表示可能）
- ウェハ番号を考慮した傾向解析
6. アナログウェハマップ解析
各測定データをMAP図で表示する事により視覚的な分布解析が行えます。また、SORTデータMAPとの比較も可能です。
- ウェハ面内分布推移(面内トレンド表示あり)
- 歩留りデータと測定項目との比較解析
- 測定項目同士の比較解析
動作環境
| サーバ | |
|---|---|
| CPU | PentiumIII 1GHz以上のAT互換機 |
| メモリ | 1Gバイト以上 |
| OS | Microsoft Windows2000 Server |
| DB | Oracle9.0.1 Enterprise Edition |
| クライアント | |
|---|---|
| CPU | PentiumIII 850MHz以上のAT互換機 |
| メモリ | 512Mバイト以上 |
| OS | Microsoft Windows2000 Professional、Microsoft WindowsXP Professional |
| DB | Oracle9.0.1 Client |
本製品・サービスに関するお問い合わせ
- Windowsは米国Microsoft Corporationの米国またはその他の国における登録商標です。
- ご使用になるハード、ソフトについては別途御相談下さい。
- その他記載の社名、製品名は、当該企業の商標もしくは登録商標である場合があります。