Xsite
2008年1月 取扱終了
Xsite は、半導体製造設備メンテナンスのナレッジマーケットを構築します。設備の有効利用と、メンテナンス効率の向上を実現します。突発故障の分析、メンテナンス作業 指示コントロール、装置の状態監視、およびPMスケジュールまでの、メンテナンス全ての面における自動化とペーパーレスの手段を提供いたします。(セミスタンダード準拠)
製品の特徴
 |
簡単な操作／機能制約 エクスプローラやビジュアル表示機能により、必要とする図面、メンテナンス・点検記録、パレート分析が、マウスをクリックするだけで行えます。また、権限を付けることにより、作業者毎に機能を限定することも可能です。 |
 |
|
 |
作業管理／ドキュメント MESとの設備状態連携、チェックリスト機能など、メンテナンス・点検作業による、さまざまなトラブルを削減することが可能です。また突発故障時の通知、作業時に必要となるドキュメント／履歴参照などが現場で行えるなど、業務の効率アップに役立ちます。 保守部品管理 メンテナンス作業と在庫管理が、このパッケージで行えます。 |
|
|
 |
スケジューリング MESとの連携を図ることで、より実用的なメンテナンス・点検の自動スケジューリングが実現可能です（手動でのスケジューリングも可）。また"PM予定を過ぎても作業を行っていない"などの際は、作業責任者などにメールなどで通知することが可能です。 設備状態遷移 MESとの連携を図ることが可能です。また、チャンバの状態からメインボディの自動的な状態の遷移など、さまざまな設備運用に対応可能です。 |
|
|
 |
パレート解析 頻度や時間から解決すべき課題を抽出することが可能です。ジョブコード（作業コード）から改善のヒントを得ます。 |
機能と活用例
| 主な機能 | 活用例 | |
|---|---|---|
| 保全管理 | PM登録・通知機能 PMスケジュール機能 PM保全状態トラッキング機能 突発故障発生状態通知機能 突発故障修理経緯登録機能 保全情報レポート作成機能 (E10、58) 設備状態監視機能 |
現場PCへのPM予定の通知 保全記録分析によるPMの最適化 保全履歴参照による修理時間短縮 保全記録参照によるTSG作成容易化 保全レポートの自動作成 メンテテクニシャンの早期技能アップ 設備状態リモートモニタリング |
| 部材管理 | 保守消耗・交換部品管理機能 | 保守パーツの在庫管理と適正化 保守冶具の在庫管理と適正化 |
| コスト管理 | 修理費用管理機能 部品費用管理機能 |
保守予算管理 修理費用管理 部品費用管理 |
本製品・サービスに関するお問い合わせ
- UNIXはUNIX System Laboratories, Inc.が開発し、ライセンスしています。
- Windows, Visual Basicは米国Microsoft社の商標です。
- 一般に社名、商品名は各社の商標または登録商標です。
- CELLworksはBrooks Automation, Inc.の登録商標です。
- FACTORYworksはBrooks Automation, Inc.の商標です。
- その他の商標は各社に帰属しています。