STATIONworks

• 完結していて、かつ構成可能な装置自動化ソリューション
• MESへのシームレスなインテグレーション
• 標準の装置ドライバでは最大のライブラリ
• 自動装置ドライバの確認レポート
• ツール間、サイト間で再利用可能なソリューション

STATIONworksはFACTORYworksと共に使用することで、ショップフロア制御から装置オートメーションまでに及び、Brooks Automation, Inc.製品による完全で一貫したソリュ-ションを展開することができます。 Brooks Automation, Inc.の一貫したソリューションのフレームワークにより、アプリケーショ ン開発者にはさらに高い生産性がもたらされ、その一方、フルオートメーションソリュ ーションのメンテナンスコストは劇的に減少します。 STATIONworksを出発点としてBrooks Automation, Inc.はステーションレベルでの製品を今後開発し、最高位レベルから最下位レベルまでに至るソリューションのための製品を開発します。したがってSTATIONworksを採用することによってBrooks Automation, Inc.が提供する標準の製品をプラグ・アンド・プレイのやり方により、将来にわたって利用し続けることができます。

MESへのシームレスなインテグレーション

STATIONworksはFACTORYworksを使って、ユーザーのプロセスと生産データを結び付けます。STATIONworks とFACTORYworksはまったく異なったアプリケーションですが、ソリューションフレームワークをシェア しており、その結果、データモデルをシェアできるため、速やかにフルオートメーションソリューションを展開できます。このシームレスなインテグレーションはフルファクトリーシステムに必要なカスタムコードを大幅に減少させることを表します。STATIONworksはMESメッセージ環境に合ったインテグレー ションSTATIONtoolsを作成することにより、他のMESアプリケーションと結びつけることができます。STATIONworksを使用すれば、過去に例の無いほどの短期間でフルオートメーションを実現することができます。

標準の装置ドライバ

STATIONworksにはTool Object Model(TOM)装置ドライバのライブラリが含まれています。この業界で唯一の標準ドライバはユニークかつ低リスクの装置インテグレーションソリューションを提供します。TOM装置ドライバは、SECS(Semiconductor Equipment Communications Standard)やGEM(Generic Equipment Model)準拠の製造装置に対して有効であり、またホストシステムに対してはVFEI(Virtual Factory Equipment Interface)の能力を提供します。Brooks Automation, Inc.は現在、一般的な装置タイプに合わせてドライバのライブラリを提供しております。使用可能なドライバの最新リストをお求めで したらウェブサイト(http://www.brooks.com/products/MES/sw/drivers.htm)で確認いただけます。

装置インターフェースの自動確認

Verifyルーチンにより、装置インターフェースの正しいオペレーションが自動的に確認されます。 これによって、オートメーションソリューションの信頼性が増加し、一方でテストや展開の時間が減少します。確認レポートから自己確認の結果の要約と詳細な解析結果が得られます。

コンポーネントの再利用

標準、カスタムも含め、すべてのソリューションコンポーネントはTOMをベースに、Brooks Automation, Inc. の標準ソリューションコンポーネント開発テンプレートであるSTATIONtoolsを使用して開発されています。従って、それらはツール間、サイト間での再利用が可能です。再利用により、コストを削減し、またダイナミックな製造プロセスに対応して、ソリューションをすばやく適合することができます。

STATIONtools

Brooks Automation, Inc.がアプリケーションの構築に使用している開発ツールのセットです。Brooks Automation, Inc.はこのSTATIONtoolsをユーザーに提供することにより、具体的な生産ニーズ合ったカスタムアプリケーションや他のSTATIONtoolsの構築を可能にします。

STATIONapps

STATIONtoolsを利用して具体的な生産問題の解決を行っているアプリケーションです。Brooks Automation, Inc.は拡散処理工程、光学処理工程の自動化やアラーム、イベント管理のような機能に合ったアプリケーションを提供して行きます。

TOM drivers

STATIONworksの中心部分はTOM(Tool Object Model)です。TOMによってユーザーは装置ドライバを入手することができます。装置ドライバはTOMの仕様に合わせて作成されており、特定の装置に対応します。また製品としてのサポートを受けることができます。

SEMI

• E4-91(SECS-I)
• E5-95(SECS-II
• E37-95 High Speed Message Service(HSMS)
• E37,1-95(HSMS-SS)
• E30-95(GEM)

SEMATECH

• VFEI V2.2

• UNIXはUNIX System Laboratories, Inc.が開発し、ライセンスしています。
• Windows, Visual Basicは米国Microsoft社の商標です。
• 一般に社名、商品名は各社の商標または登録商標です。
• CELLworksはBrooks Automation, Inc.の登録商標です。
• FACTORYworksはBrooks Automation, Inc.の商標です。
• その他の商標は各社に帰属しています。