富士通LSIテクノロジ

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AnalysisForce
Mining

回帰木図の見方

各工程の使用装置差による歩留りの差を解析する例です。全ロット数=65、平均歩留り=89%のロット群に対して、最も歩留りを左右する項目と値を自動的に抽出。すなわち、歩留りが最も低くなるのは工程aでa2、かつ工程bでb2を使用した場合、逆に歩留りが最も高くなるのは工程aでa1、かつ工程cでc1を使用した場合であることが分かります。

従来手法との主な差

  • 統計的に有意差が大きいものを自動的に抽出します。
  • 複合条件に関する情報も抽出します。

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