2010年2月1日
株式会社富士通アドバンストエンジニアリング
製品情報「EQOC」公開について
製品情報「EQOC」を公開致しました。
EQOC
EQOC(EQuipment Online Control)は、半導体製造装置等と上位システムの 接続を簡単に実現するSEMIに準拠したツールです。また、半導体工程全般の装置と接続できる為、新規装置導入時及び装置交換時には、Fast・Easy・LowPriceでの装置オンライン化を実現します。
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