EQOC （イーキューオーシー） 半導体製造装置接続ツール

半導体製造装置と工程管理の接続を実現する、SEMIに準拠したツールです

EQOCとは

EQOC(EQuipment Online Control)は、半導体製造装置等と上位システムの接続を簡単に実現するSEMIに準拠したツールです。
半導体工程全般の装置と接続できる為、新規装置導入時及び装置交換時には、Fast,Easy,
LowPriceでの装置オンライン化を実現いたします。

豊富な経験と実績！

187機種、1,800ライセンスを越える導入実績と15年以上製造業に携わった経験に基づく
業種ノウハウ、システムノウハウが蓄積された装置接続ツールです。

スピーディーなオンライン化を実現！

スクリプト言語の採用とVBインターフェースのOCXを実装することにより、短期間での装置オンライン化を実現いたします。

スクリプトにより簡単定義・簡単接続！

当社でEQOCを使用してのオンライン化対応はもちろんの事、簡単なスクリプト言語を使用する事により、お客様ご自身での装置オンライン化やカスタマイズを容易に実現いたします。

導入費用の低減！

10ユーザライセンスを1.5百万円からのご提供のほか、1ライセンス毎の追加ライセンスメニューも取り揃えております。

MESベンダーを選ばず接続可能！

VBインターフェース、ソケットインターフェースを実装していますので、ベンダーを選ばず、新規・既存MESとの接続を容易に実現可能です。

シミュレート環境提供で装置接続テストを実現！

お客様への装置搬入前に装置メーカー先で事前に通信テスト実施する場合のシミュレート環境をご用意いたします。

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EQOCの導入イメージ

• SECS-IとHSMSの両方をサポート（SEMI STANDARDS E4-01,E5-1296に準拠）
• 豊富な通信トレース機能＆解析
  
• 収集した装置データをXML形式で保持
• スクリプト言語（インタプリタ）の採用
• VBインターフェースOCXを搭載

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PDFカタログをダウンロードいただけます

PDF EQOC(半導体製造装置接続ツール)カタログ [295KB]

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