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ABS平坦度測定修正装置

磁気ヘッド・スライダの浮上面形状(ABS:Air Bearing Surface)を測定し、スライダ裏面へのレーザー照射を行い、任意の形状に浮上面を修正します。

特徴

  • 優れたコストパフォーマンス
  • 光干渉法の採用による測定機能を搭載
  • マルチポイント溶融法採用による低発塵を実現
  • 目標形状の3次元点列データ入力方式により任意形状の修正が可能

マルチポイント溶融方式

磁気ヘッド・スライダABS面修正原理

スライダの曲がりの稜線に沿ってレーザーを照射し、それによる収縮で発生する曲げ応力を利用して平坦度を修正します。材質アルチック・厚さ0.3mmの場合で平坦度30nm以下を平坦度5nm以下へ修正しています。

カタログ

PDF ABS平坦度測定修正装置カタログ( 150KB / nanoflat.pdf )