ABS平坦度測定装置

ハードディスクの高密度化記録の一つの要素である磁気ヘッドの、超低浮上化及び浮上量の安定化にを担う浮上面(ABS面）形状の高速計測を提供します。

特徴

• 高速測定：3秒/スライダ
• 高精度測定：0.1nm(σ)の繰り返し精度
• 多数個連続自動測定対応：スライダケース上の不安定な姿勢のワークを連続して測定可能
• 低価格(従来当社製品の約2分の1)
• タクトタイム/コストの問題で全数検査できなかった平坦度測定の全数検査が可能となる。

測定処理例

磁気ヘッドの浮上面を撮像し、画像から高さを抽出し2次曲面近似によりそり量を計算する。

用語説明

• ABS：Air bearing surface
• Crown：長辺方向のそり
• Camber：短辺方向のそり
• Twist：対角方向のねじれ

カタログ

PDF ABS平坦度測定装置カタログ( 164KB / foms2000.pdf )