自動ELGラップ装置

Bar状態のMRヘッドのABS面(浮上面)ラップ加工工程において、ELG抵抗値を測定しながらBarを微小弾性変形（7ヵ所)させて、Bar内の全ヘッドが規定抵抗値になるように加工する装置です。

特徴

名称	説明
片面精密ラップ盤	フェーシングユニット真直度1µm以下。ラップ定盤面振れ精度1µm以下。
揺動機構部	揺動・8の字揺動が可能。加工終了時にベースユニットをラップ定盤上から自動退避する。
ベースユニット	エアシリンダによる加圧、微小弾性変形機能。エア圧力は電空レギュレータにより可変制御。
ワイパユニット	スラリ強制排出用のワイパ機能。
ELG抵抗測定	2msec以下/1ヘッド
ベンド制御	ラップ用治具に接着されたローバーの反りを修正(治具を曲げる)しながら加工する制御各ベンド点が互いに干渉しあうように設計された治具。各ベンド点はエアシリンダとリンク機構により曲げられる(押し・引き) ローバー内の全ELG(Electric Lapping Guide)の抵抗値をモニタして、抵抗値のバラツキが最小になるようなベンド制御を行う。加工精度は、ELG抵抗値をローバーの厚さ方向の寸法に換算した値の単位MRh(MR height)で10nm以下。
その他	2ヘッドにより2本のBarを同時加工できる。様々な加工パラメーターの組合せを自由に選択し、変更できる。

PDF 自動ELGラップ装置カタログ( 144KB / elg9.pdf )