大型ガントリ・アルミプレート・石定盤のご紹介

富士通の半導体関連事業、磁気ディスク関連事業、プリント板関連事業で長年培かってきた精密組立技術と経験をベースに高剛性、高精度ガントリシステムの製作を提供しています。

また、お客様の様々なニーズにお答えして、制御を含めた大型ガントリシステムをソリューション提案しています。仕様決めから機構設計、製作、制御設計、ソフト、現地立ち上げまでをカスタマイズします。

装置応用例

特徴

1. 弊社の長年培った精密組立技術により高剛性、高精度ガントリの製作を実現しています。
2. 弊社独自の高精度プロービング技術（フライングプローバーの応用技術）とプローブヘッド特許により高品質を実現しています。
3. 弊社独自のマップデータによるガントリリニアアクチェータの補正制御技術を実現しています。
4. 弊社独自のシータテーブル回転エアーベアリング利用技術（SOT試験機の治具搬送応用技術）を採用しています。
5. 弊社独自のクリーン度技術（HDD自動組立ラインの応用技術）を採用することによりクリーン化、耐ESDの実現をしています。
6. 弊社独自のガラス基板ハンドリング方式を開発することにより基板搬送の安定を実現しています。
7. ガントリの設計は構造解析シミュレーターを使い、最適ガントリの設計をしています（下図参照）。

概要

TFT液晶ガラス基板検査装置のゲートライン&ソースラインのオープンまたはショート検出を非接触にて行う装置で、オプション機能として欠陥位置（オープン/ショート位置）の特定や抵抗測定も可能としています。

外観図

解析シュミレーション図

大型ガントリ応用装置例の外観写真

G5ガントリ・アルミプレート写真

G7ガントリ・アルミプレート写真

組み立て

精度測定

塵埃測定

出荷

自社工場より、クリーン梱包して出荷しています。一貫輸送により、夜間輸送もしています。

G8用ガントリ紹介

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