製造工程における環境負荷低減：過去事例

富士通インテグレーテッドマイクロテクノロジ 株式会社（2009年度）

LSIパッケージ工程への空調用冷水供給の効率化

LSI製品のパッケージ・ソリューションを提供している富士通インテグレーテッドマイクロテクノロジ 株式会社では、これまでの製造現場だけで行っていた環境負荷低減活動の仕組みを見直し、グリーン・プロセス活動の活動部門を広げて工場全体での連携を図っています。

活動にあたっては、工場全部門がそれぞれ目標を設定し、CG指標に基づく環境負荷低減活動を行っています。

例えば、同社の宮城工場では、施設部門の活動として、空調機など動力設備のエネルギー効率をCG指標で設定し、そのCG指標を低減するため、省力化に向けた各種施策に取り組みました。その一つが、空調用冷水供給の効率化です。これまで、工場の各建屋に設置している空調用の蓄熱槽にはそれぞれ個別の冷凍機から冷水を供給していましたが、それら冷凍機のうち、最大能力のものに余力があったため、2基の蓄熱槽を配管でつなぐことでその冷凍機の冷水製造効率を高めました。加えて、夏季以外はほかの冷凍機の稼動を停止することも可能になったことから、消費電力の削減につながり、CG値・単位冷水量あたりのコストともに平均約33.0％減となりました。

半導体製造工程における最終試験の改善（富士通インテグレーテッドマイクロテクノロジ 株式会社）（2008年度）

半導体パッケージの組立試験サービスを提供する富士通インテグレーテッドマイクロテクノロジ（株）の会津工場では、グリーン・プロセス活動の一環として、試験工程で用いるテスタの部品改良とその廃棄方法の改善を行いました。

一例として、「テスタ測定で使用するコンタクト部品」は、合金にメッキをした部材を使用していたため、測定するたびにメッキが少しずつ磨耗し、不良判定の原因となっていましたが、この部品の材質をメッキ加工の必要がない別の合金に変更することにより、メッキ磨耗による不良判定を低減しました。

また、このコンタクト部品の交換時には、これまでコンタクト部品がハンダ付けされている回路基板ごと交換し、廃棄していましたが、回路基板と部品を分離して、それぞれ再資源化しました。

こうした施策により、部品の新規購入や交換頻度、再資源化による廃棄量の大きな削減に成功しました。加えて、新規部品の購入が減ったことでコストの削減も実現しています。この試験工程の改善では、その他細かな施策の積み重ねでCG値・コストともに約11％減となりました。

半導体製造工程における研磨品質の向上（2007年度）

富士通グループの半導体製造拠点である富士通マイクロエレクトロニクス（株）会津若松工場では、AV機器、家電、パソコン、OA機器等向けのICを生産しています。 同工場では「グリーン・プロセス活動」のテーマとして、ウェーハ製造プロセスの研磨工程で発生する「製品表面の傷」の発生の抑制に取り組みました。この取り組みのなかで、傷の発生メカニズムを検討すると、研磨工程で使用する研磨パッドの溝の形状に傷の発生が依存するという傾向がわかりました。さらに検討を重ねると、溝の形状や深さを最適化することによって、傷の発生を低減するとともに、研磨パッドを長寿命化できることがわかり、研磨パッドの溝の形状を最適化する具体的な施策を立て実施しました。 また、研磨パッドの表面状態を初期の状態に戻すためのコンディショニングディスクについて、目立て精度のバラツキを低減したディスクを導入することにより研磨パッドの再生品質を向上させました。

この施策により、研磨品質が向上したほか、研磨パッドの寿命が延長しました。これにより、研磨パッド交換の頻度を削減し、使用済み研磨パッドの廃棄量を削減できたほか、交換時の研磨テストで使用する研磨剤の総量の削減にもつながり、取り組み前に比べて研磨パッドのCG値は60.2％減、研磨剤のCG値は21.5％減となりました。

なお、この取り組みは、同社の三重工場、岩手工場へも展開中であり、さらなる効果の拡大を図っています。

試験工程の見直しによる電力削減（CG指標：18％減）（2006年度）

株式会社富士通ITプロダクツでは、サーバ、ストレージ、イメージスキャナなどを製造出荷しています。同社では、グリーン・プロセス活動の実践を通して、環境負荷の低減に努めることを目標に掲げ、その取り組みの一つとしてストレージ製品の試験工程の見直しを行いました。これまで、ストレージ製品は顧客の要求する構成に組み立てる前に、構成部品（ハードディスクや制御装置）の試験を個別に行っていましたが、見直した結果構成部品を機能ブロックごとに組み立てた後、試験することができ（生産革新活動との連携）、使用電力が月あたり18％削減できました。この結果、月あたりCG値は18％削減、コストは18％削減となりました。