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製造工程における環境負荷低減

半導体製造工程における「グリーン・プロセス活動」の推進

富士通グループでは、製造工程におけるエネルギー使用や原材料投入量の適正化、環境負荷の低い代替品への切り替えなどをコストダウン活動と連携して実施する「グリーン・プロセス活動」を推進しています。

従来、グリーン・プロセス活動は富士通グループのすべての製造工場を対象としていましたが、2010年度からは、これまでの活動成果を踏まえ、継続して効果を出していくために、化学物資などの投入資材が多い半導体製造工場に特化することとしました。また、その他の製造工場では、2008年度から始めたものづくり領域(実装・組立・試験工程)における設備や工程の改善、新技術開発などを通じた活動を進めています。

半導体製造工場でのグリーン・プロセス活動にあたっては、従来と同様、材料や化学物質(副資材)など総投入物質量およびエネルギー投入量やそれらの購入コストを把握し、富士通グループ独自のCG指標(コスト・グリーン指標)を設定します。これに基づいて各工場の製造ライン単位で四半期または半期ごとの低減目標値(計画値)を定め、PDCAサイクルを回しながら、目標値に対する達成度を評価。その結果を踏まえて、新たな製造技術の導入や工程を見直し、作業内容の改善に取り組むなど、製造工程の継続的改善に努めています。

また、工場の製造工程以外の活動についても、製造工程と連携して進める方が効率的な場合には、CG指標(コスト・グリーン指標)の考え方を取り入れています。

CG指標(コスト・グリーン指標)

コストと環境負荷の両面から対策効果が大きい資材を抽出できる、富士通グループ独自の指標です。薬品、ガスなどの資材ごとに、単価と単位製品あたりの使用量、内部で決めた環境影響度の3つの数値をかけ算で算出するもので、この数値をベースに削減活動を行います。

CG値(コスト・グリーン値)の算出方法

CG値(指標)=生産量あたりの投入量×単価×環境影響度注1

注1:環境に与える影響度で、10段階に分類(環境に悪いほど点数が高い)

導入のメリット

  • 工場におけるインプットからの環境負荷低減
    製造活動の上流である材料、化学物質、エネルギーなどの投入を減らすことで、廃棄物削減、化学物質削減、省エネルギーを効率的に推進し、製造拠点におけるさらなる環境負荷低減を実現できます。
  • 製造活動のコスト低減
    原材料、化学物質、エネルギーなどの総物質投入量を把握し、削減できるため、製造コストの削減など経営上のメリットも期待できます。
  • 製造工程へ新たな評価指標を提供
    従来までの製造工程の主な評価項目であるコスト削減、品質向上、納期厳守に新たな評価項目である環境負荷低減を加えることで、新たな付加価値を生み出します。各工場は、各製造ラインにつき、四半期ご導入のメリットとに目標設定、達成度評価を行い、継続的に活動を推進していきます。

製造工場におけるグリーンプロセスのイメージの図

製造工場におけるグリーンプロセスのイメージ

拡大イメージ

事例

富士通インテグレーテッドマイクロテクノロジ 株式会社

工場内でのメッキ廃液処理による産業廃棄物の削減

富士通グループの半導体製品のパッケージング・テスト工程を担当する富士通インテグレーテッドマイクロテクノロジ 株式会社では、工場の全部門がそれぞれ目標を設定し、グリーン・プロセス活動に取り組んでいます。

例えば九州工場では、外部委託していたメッキ工程を社内で行うことにした際に、それまで産業廃棄物として業者に処理委託していたメッキ廃液の一部も工場内の排水処理施設で処理することとし、廃液の工場外への搬出を減らしました。

メッキ廃液を工場内で処理するにあたっては、新たにメッキ廃液用の配管を設置したほか、運用に先立って、排水処理装置への負荷についてプラントメーカーから意見をいただくとともに、廃液の投入量に対するpH調整や処理薬品の注入量などの条件を決めるために繰り返しテストを行いました。

これによって、CG値・コストともに以前に比べて平均89.4%の削減となりました。